- 1
- 2
歐洲進(jìn)口工業(yè)設(shè)備
五金工具建材
機(jī)械
滲透膜伸縮片設(shè)備變速箱儲能器攪拌器均質(zhì)機(jī)束帶綁扎機(jī)摩托備件油霧探頭機(jī)器人卡盤撇油器磨床打包機(jī)制動器封口機(jī)馬弗爐工業(yè)爐高溫爐叉車挖掘機(jī)快換系統(tǒng)起重機(jī)卷簧機(jī)工控振動器渦輪機(jī)傳動攪拌發(fā)動機(jī)風(fēng)扇絲桿聯(lián)軸器風(fēng)機(jī)換熱器清洗驅(qū)動器干燥器軸承馬達(dá)氣缸纏繞機(jī)執(zhí)行加熱器膨脹罐減速機(jī)控制器模塊電磁吸盤真空包裝機(jī)油缸過濾器壓縮機(jī)機(jī)床切割機(jī)噴砂張緊器輸送機(jī)制氧機(jī)離合器吸塵器增壓分離液壓制動上料輸送柱塞泵閥儀表
儀器儀表
模擬盒藥物測試安全表校準(zhǔn)器組合式測試設(shè)備控制系統(tǒng)硬度計熱交換器掃描器沾污儀紫光源混合器萬用表百分表風(fēng)速儀分度盤放大器六分儀熱像儀拐檔表數(shù)顯表檢測儀木材測濕儀電子秤靜電消除器真空計壓力表進(jìn)樣器移液器剩磁探測測試儀擺動缸濾芯測力計打標(biāo)機(jī)試驗機(jī)混合機(jī)平衡器溫控器壓力氣壓張力能量計報警器測距儀定位器熒光儀編碼器注射器打印機(jī)液位計折光儀流量計感應(yīng)機(jī)探測器檢測器超聲波發(fā)生器濕度計傳感器聯(lián)軸器烘烤設(shè)備檢漏儀制冷機(jī)輻射測溫傳輸探頭光譜儀射線干燥器發(fā)射器指南針印刷設(shè)備操作面板顯示器粘度計量塊調(diào)節(jié)器采樣記錄儀油位計料位計冷卻分析溫度計壓差測量發(fā)生器電子電工
壓力開關(guān)
實(shí)驗室設(shè)備
| 芬蘭KxS Technologies半導(dǎo)體晶圓化學(xué)監(jiān)測技術(shù)概述 |
| 點(diǎn)擊次數(shù)：673 更新時間：2025-08-28 |
芬蘭KxS Technologies半導(dǎo)體晶圓化學(xué)監(jiān)測技術(shù)概述 KxS Technologies是一家專注于高精度工業(yè)過程監(jiān)測技術(shù)的企業(yè)，其半導(dǎo)體晶圓制造用化學(xué)監(jiān)測儀基于折射率測量原理，用于化學(xué)品濃度與混合物比例的實(shí)時分析。該類設(shè)備適用于半導(dǎo)體工廠多種濕法工藝環(huán)節(jié)的化學(xué)液監(jiān)測。 一、產(chǎn)品系列與主要型號 KxS Technologies的主要產(chǎn)品類型包括以下： 化學(xué)濃度監(jiān)測儀 slurry密度檢測系統(tǒng) 蝕刻液濃度監(jiān)測模塊 清洗液配比監(jiān)測系統(tǒng) CMP漿料稀釋控制單元 光刻膠處理監(jiān)測設(shè)備 濕法刻蝕終點(diǎn)檢測儀 化學(xué)品輸送管道在線監(jiān)測系統(tǒng) 工藝槽液濃度控制單元 晶圓清洗液濃度監(jiān)測裝置
該品牌目前公開的主要型號有： DCM-10 RIM-2000 CCM-3000 SDS-500 EMM-400 SCM-200 WCM-1000 BMM-600 TMM-750 PCM-800
二、產(chǎn)品介紹與技術(shù)特性 以DCM-10型號為例，該設(shè)備為在線式化學(xué)濃度監(jiān)測儀，采用原位折射率測量技術(shù)。其工作原理基于特定波長光源通過被測液體后發(fā)生的折射現(xiàn)象，通過折射角變化與物質(zhì)濃度之間的對應(yīng)關(guān)系，推算出化學(xué)品的實(shí)時濃度。
技術(shù)參數(shù)包括： 測量范圍：1.3200–1.5300 RIU 分辨率：±0.0001 RIU 溫度補(bǔ)償范圍：0–100°C 輸出接口：4-20mA/Modbus TCP 防護(hù)等級：IP67 接液材質(zhì)：PTFE/Hastelloy
三、技術(shù)特點(diǎn) 多化學(xué)品兼容 可測量多種常見半導(dǎo)體化學(xué)品，包括氫氟酸、雙氧水、氨水、硫酸等腐蝕性介質(zhì)。 實(shí)時在線測量 設(shè)備直接安裝于工藝管道或槽體，實(shí)現(xiàn)工藝流程中不間斷監(jiān)測，減少人工取樣需求。 耐腐蝕結(jié)構(gòu)設(shè)計 采用全氟醚密封與哈氏合金接液部件，適應(yīng)強(qiáng)酸強(qiáng)堿環(huán)境下的長期使用。 溫度補(bǔ)償功能 內(nèi)置溫度傳感器，自動校正溫度變化對測量值的影響。 數(shù)據(jù)通訊能力 支持工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議，可與FAB廠的MES或SPC系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)集成。
四、應(yīng)用領(lǐng)域 該類監(jiān)測儀可適用于以下制造環(huán)節(jié)： CMP工藝中 slurry濃度的調(diào)配與監(jiān)測 濕法刻蝕過程中蝕刻液濃度的實(shí)時控制 晶圓清洗環(huán)節(jié)SC-1/SC-2等清洗液配比驗證 光刻膠去除工藝中化學(xué)品活性維持 化學(xué)品配送系統(tǒng)的濃度校驗
結(jié)語 基于折射率測量的化學(xué)濃度監(jiān)測技術(shù)為半導(dǎo)體制造提供了連續(xù)測量的可能性，有助于晶圓廠保持工藝穩(wěn)定性。KxS Technologies的相關(guān)產(chǎn)品在該技術(shù)路徑上形成了系列化設(shè)備，可適應(yīng)多種濕法化學(xué)工藝場景的監(jiān)測需求。 |
18804209403
首 頁